国产光刻机项目用了他们的光源解决问题

原创文章 发布人:YYJT 发布时间:2022-03-10 22:22

从正面看去,一个比例被放大数十倍的立体玉龙跃然眼前,可当你伸手去触摸时,却只碰到了空气(见下图),2月22日,在位于新乡市红旗区新东产业集聚区的百合光电. 让我们感受到了裸眼3D悬浮成像技术这一“黑科技”。

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实现了微米级别光刻光源系统的国产化量产

除了上述裸眼3D悬浮成像技术,在百合光电,太阳光模拟系统,让人即使身处暗室也能尽情享受“日光浴”;深紫外辐照模拟设备,可以模拟太空光照环境,被用于建造卫星的材料筛选环节……

“这些只是我们研发路上的‘副产品’,今年国内的一家新能源汽车品牌参加车展时,也会用到这项技术。”百合光电总经理、英国南威尔士大学光电工程学博士张博说,在研发光刻光源的过程中,该企业掌握了高精度的光学元件加工技术,实现了微米级别光刻光源系统的国产化量产,产品品质达到了国际领先水平,“捎带”着生产出一系列“黑科技”产品。

“无论是悬浮感、对比度、分辨率,还是生态环保、使用寿命、综合成本,我们的产品都经得起市场的竞争和考验。”张博说。

研发生产过程中,深深感受到了被“卡脖子”的痛苦

2016年,张博带着一支6人科研团队,来到红旗区新东产业集聚区,注册成立公司,开始了光刻光源的研发。“研发生产过程中,深深感受到了被‘卡脖子’的痛苦,比如很多生产设备的部件,反光碗来自日本,还有的来自美国,那时我们无法完全实现‘中国造’。”

光刻、曝光设备是国家的战略装备,技术门槛高,投资大,周期长,而光学就是其中的核心难点之一。我国该领域起步晚,经验少,市场化的产品更是差距巨大。目前,虽然我国90纳米的设备已经验收,正在攻关28纳米的光刻机,但在市场上,就算是微米和亚微米级别,国外品牌依然是主流。“为助力半导体装备产业实现国产化,不再被光刻光源‘卡脖子’,我们每年拿出企业年产值的20%~25%作为科研经费,与各大高校建立战略合作,从市场需求出发,定位技术攻关方向,联合培养人才,实现项目产业化。”张博说。

近几年,百合光电开发了系列UV-LED光源系列产品,绕过了国外在超高压汞灯、恒流源等领域建立的产业壁垒,在节能、环保、降低成本、提高品质等方面全面超越传统汞灯,符合国家碳达峰、碳中和的远景目标,实现了产品指标国际领先。在集成电路、液晶、线路板、LED等行业,百合光电已经成功开发并产业化了30余款系列产品,实现整机国产化。

正式成为中芯国际光学元器件的战略供应商

“酒香不怕巷子深”。中科院牵头的国产光刻机重大项目,采用的是百合光电提供的光源模组;作为国产光刻机民企“龙头”的大族激光,选用了百合光电生产的整套曝光系统;去年6月起,百合光电向半导体龙头企业中芯国际保质保量供应了光学零部件,前几天正式成为中芯国际光学元器件的战略供应商……

近5年,百合光电以年均增收20%的速度健康发展,未来两三年,预计年产值、利润增幅均将超过100%。“我们将继续探索和开创更多光的可能性,大力投入健康、环境、绿色、娱乐等产业,研发出更多更好的新产品。